O microscópio de medição de precisão é desenvolvido para semicondutores, fabricação de wafers, informações eletrônicas e indústria metalúrgica. Também pode ser usado como um microscópio metalúrgico avançado e para analisar e identificar a histologia de vários metais e ligas, portanto, é amplamente aplicado para identificação de qualidade de fundição, exame de matérias-primas e análise de estrutura metálica de material após processo em fábrica e laboratório.
Principais parâmetros técnicos
Item | Parameter | Item | Parameter |
Optical system | Infinite optical system | Focusing mechanism | Motorized |
Viewing head | Trinocular head (0.3X CCD mount adapter) | Base | Marble |
Lens in the tube | Focal distance f=250 mm | Display divice | Zero adjust, direction change, data output, TTL signal |
Polarizing device | analyzer can rotate 360。. The polarizer and analyzer can be removed out of optical path. | ||
Illumination | Epi-illumination: 12V/50W Halogen lam. Transmitted illumination: 5W LED. | ||
Stage | Cross travel: XY 200mm×200mm. Measuring method: metrology grating. Resolution: 0.001 mm. Moving function: X/Y. | ||
Options | 1. 300 mega pixel, 500 mega pixel, 800 mega pixel and 1000 mega pixel CMOS 2. Measuring software 3. Objective: 2X (NA0.055/W.D 34 mm), 100X ( NA0.55/W.D 13 mm) 4. Microscopic spectrometer |